[发明专利]全环光子筛及其制作方法有效
| 申请号： | 200810222330.X | 申请日： | 2008-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN101676750A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 贾佳;谢长青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B5/00;G03F7/20;G03F7/00;G03F7/36 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全环光子筛，该全环光子筛包括：光子筛，该光子筛制作在透明介质上，其衍射孔径与相应菲涅耳环带宽度相等；刻蚀圆孔，该刻蚀圆孔位于其余的菲涅耳环带处；该刻蚀圆孔数量和位置的决定规律与光子筛圆环相同，从原来的偶数环增加到奇数环，或者从原来的奇数环增加到偶数环，在波带片的奇数环带和偶数环带都有透光部分，分别是奇数环带的透光孔和偶数环带的刻蚀位相透光孔，每个透光孔的直径和相应的环带宽度相同，且该刻蚀圆孔与原来的衍射孔构成位相板。本发明同时公开了一种制作全环光子筛的方法。利用本发明，实现了光子筛聚焦衍射光强的提高，即实现了激光束远场衍射斑的主斑能量的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 光子 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种全环光子筛，其特征在于，该全环光子筛包括：光子筛，该光子筛制作在透明介质上，其衍射孔径与相应菲涅耳环带宽度相等；刻蚀圆孔，该刻蚀圆孔位于其余的菲涅耳环带处；该刻蚀圆孔数量和位置的决定规律与光子筛圆环相同，从原来的偶数环增加到奇数环，或者从原来的奇数环增加到偶数环，在波带片的奇数环带和偶数环带都有透光部分，分别是奇数环带的透光孔和偶数环带的刻蚀位相透光孔，每个透光孔的直径和相应的环带宽度相同，且该刻蚀圆孔与原来的衍射孔构成位相板。
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