[发明专利]一种低温快速沉积钨酸钡微米薄膜的方法

摘要

一种低温快速沉积钨酸钡微米薄膜的方法属于功能薄膜材料的制备技术领域。现有钨酸钡薄膜的制备方法对沉积条件要求较高，需要真空、高温等条件，另外对衬底的选择具有局限性，必须为导电衬底。本发明以乙二胺四乙酸二钠(EDTA－2Na)为络合剂，在低于100℃的微波水浴中，30分钟之内，在衬底上制备具有纯白钨矿结构，晶粒细小均一致密，且高度结晶的微米钨酸钡薄膜。本发明方法对衬底无特殊要求，导电和非导电衬底均适用；采用微波加热方式，工艺简单，无需真空和高温等条件，且溶液受热均匀，极大地缩短了薄膜沉积时间；采用乙二胺四乙酸二钠作为络合剂有效的避免了反应初期钡离子和钨酸根离子在溶液中大量成核沉淀。

主权项

1、一种低温快速沉积钨酸钡微米薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)衬底的预处理：将衬底依次用甲苯、丙酮和乙醇各超声清洗15分钟后，去离子水冲洗，浸泡在乙醇中备用；2)将络合剂EDTA-2Na溶于去离子水中，搅拌均匀后，加入与EDTA-2Na等物质的量的Ba(NO3)2·6H2O，持续搅拌溶液，得到澄清透明的溶液A；3)向溶液A中加入NaOH和HNO3调节pH值至8-13，得到溶液B；4)向溶液B中加入与EDTA-2Na等物质的量的Na2WO4，并搅拌至得到澄清透明溶液C；5)将步骤1)中预处理后的衬底用去离子水冲洗后，放入溶液C中，使衬底漂浮于溶液表面，微波辐照10min-30min，得到钨酸钡微米薄膜。