[发明专利]谐振式微型电场传感器有效
| 申请号： | 200810222769.2 | 申请日： | 2008-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN101685119A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 彭春荣;夏善红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种谐振式微型电场传感器，包括：一衬底；具有梳齿结构的激励电极由锚点固定在衬底的一侧；具有梳齿结构的振动敏感电极由锚点固定在衬底的另一侧；屏蔽电极和电场感应电极固定在激励电极和振动敏感电极中间位置的衬底区域上，其中，屏蔽电极和电场感应电极交错排列；横梁，位于屏蔽电极的中部；支撑梁，支撑梁的一端由锚点固定在衬底上，另一端与激励电极和振动敏感电极连接。本发明可以降低器件的静电激励电压，提高传感器的灵敏度和精度，进一步增强其环境抗干扰能力。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 式微 电场 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种谐振式微型电场传感器，其特征在于，其传感器敏感结构包括：一衬底(1)；具有梳齿结构的激励电极(4)由锚点(9)固定在衬底(1)的一侧；具有梳齿结构的振动敏感电极(5)由锚点(9)固定在衬底(1)的另一侧；屏蔽电极(6)和电场感应电极(7)固定在激励电极(4)和振动敏感电极(5)中间位置的衬底(1)区域上，其中，屏蔽电极(6)和电场感应电极(7)交错排列；横梁(61)，位于屏蔽电极(6)的中部；支撑梁(8)，支撑梁(8)的一端由锚点(9)固定在衬底(1)上，另一端与激励电极(4)和振动敏感电极(5)连接；闭环反馈控制电路部分(2)的输入端与振动敏感电极(5)相连的焊盘(59)连接，而其输出端则接入与激励电极(4)相连的焊盘(49)，闭环反馈控制电路(2)实现传感器屏蔽电极(6)自动工作在谐振状态。
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