[发明专利]离子注入机分子泵电源新型控制方式无效
| 申请号： | 200810224644.3 | 申请日： | 2008-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN101728204A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 金则军;易文杰;胡东京 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/32;H01L21/265 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是用于各种新型的离子注入机上的分子泵电源控制器，离子注入机属于半导体器件制造领域。现在半导体芯片的制程越来越小，半导体芯片生产线对离子注入机的真空要求越来越高，新型的离子注入机的高真空一部分用分子泵来抽取，国内的分子泵电源控制器对分子泵的转速控制处理不好，而国外的产品虽然性能较优良，但是价钱又很高，为国内多数生产厂家所不可接受。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 分子 电源 新型 控制 方式 | ||
【主权项】：
适用于各种新型的离子注入机上的分子泵电源控制，控制器价格比国外的便宜很多。
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