[发明专利]一种具有俯仰功能的硅片盒平台有效
| 申请号： | 200810224697.5 | 申请日： | 2008-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101383315A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | 陈百捷;徐伟新;姚广军 | 申请（专利权）人： | 陈百捷 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐 宁 |
| 地址： | 100176北京市亦庄经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有俯仰功能的硅片盒平台，其特征在于：它包括两定位轴，所述两定位轴上连接有一护板框架，所述护板框架通过一转轴机构连接一翻转板的底部前端；所述护板框架内的两定位轴上连接一固定板，在所述固定板上连接一由驱动装置连接的曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构的输出端通过一转块连接所述翻转板的底部后端，所述翻转板的顶部连接一硅片盒，当所述曲柄连杆机构的曲柄在0～180°范围内往复间歇摆动时，连接所述硅片盒进行仰俯摆动。本发明的核心机构--曲柄联杆机构和一转轴机构的设置具有结构简单合理，既能实现自动俯仰，又能实现平稳俯仰，解决了已有技术中存在的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 俯仰 功能 硅片 平台 | ||
【主权项】：
1、一种具有俯仰功能的硅片盒平台，其特征在于：它包括两定位轴，所述两定位轴上连接有一护板框架，所述护板框架通过一转轴机构连接一翻转板的底部前端；所述护板框架内的两定位轴上连接一固定板，在所述固定板上连接一由动力装置连接的曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构的输出端通过一转块连接到所述翻转板的底部后端，所述翻转板的顶部连接一硅片盒，当所述曲柄连杆机构的曲柄在0～180°范围内往复间歇摆动时，带动所述硅片盒进行仰俯摆动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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