[发明专利]光纤激光加速度传感器无效
申请号: | 200810224821.8 | 申请日: | 2008-10-22 |
公开(公告)号: | CN101398440A | 公开(公告)日: | 2009-04-01 |
发明(设计)人: | 张文涛;李芳;刘育梁 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01P15/03 | 分类号: | G01P15/03 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种光纤激光加速度传感器,包括:作为光纤激光加速度传感器主体的支撑筒,该支撑筒一端开口,另一端的中心具有一第一小孔,用于固定光纤激光器;安装在所述支撑筒开口端的端盖,用于固定并保护光纤激光加速度传感器的内部结构,并引出光纤激光器的尾纤;固定在支撑筒开口端与端盖之间的弹性膜片结构,用于在加速度作用下产生变形;安装在弹性膜片结构中央的质量块,用于增加弹性膜片结构在加速度作用下产生的变形;贯穿所述弹性膜片结构和质量块的光纤激光器,用于测量加速度。本发明提高了光纤激光加速度传感器的测量灵敏度,减小了光纤激光加速度传感器的体积,改善了工艺的一致性。 | ||
搜索关键词: | 光纤 激光 加速度 传感器 | ||
【主权项】:
1、一种光纤激光加速度传感器,其特征在于,该光纤激光加速度传感器包括:作为光纤激光加速度传感器主体的支撑筒(10),该支撑筒(10)一端开口,另一端的中心具有一第一小孔(11),用于固定光纤激光器(20);安装在所述支撑筒(10)开口端的端盖(30),用于固定并保护光纤激光加速度传感器的内部结构,并引出光纤激光器(20)的尾纤;固定在支撑筒(10)开口端与端盖(30)之间的弹性膜片结构(50),用于在加速度作用下产生变形;安装在弹性膜片结构(50)中央的质量块(40),用于增加弹性膜片结构(50)在加速度作用下产生的变形;贯穿所述弹性膜片结构(50)和质量块(40)的光纤激光器(20),用于测量加速度。
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