[发明专利]用于蒸镀有机电致发光二极管电极的金属装填方法及系统有效
| 申请号： | 200810225523.0 | 申请日： | 2008-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN101736293A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 孙力 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于蒸镀有机电致发光二极管电极的金属装填方法及系统，方法包括：在密闭操作空间内填充惰性气体；在所述密闭操作空间内将被密封保存的金属取出，放入蒸发舟内；将所述蒸发舟加密封盖密封；将密封的蒸发舟从所述密闭操作空间内取出放入蒸镀空间；从所述蒸镀空间中抽出空气，直至所述蒸发舟打开。系统包括：密闭操作空间，填充有惰性气体；蒸发舟，开口状态下内置于所述密闭操作空间内；密封盖，在所述蒸发舟内置金属状态下，设置于使所述蒸发舟处于密封状态的开口处；蒸镀空间，在所述蒸发舟密封状态下，内置有所述蒸发舟。降低了OLED电极的制作工艺难度，提高了OLED电极的蒸镀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 有机 电致发光 二极管电极 金属 装填 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种用于蒸镀有机电致发光二极管电极的金属装填方法，其特征在于，包括：在密闭操作空间内填充惰性气体；在所述密闭操作空间内将被密封保存的金属取出，放入蒸发舟内；将所述蒸发舟加密封盖密封；将密封的蒸发舟从所述密闭操作空间内取出放入蒸镀空间；从所述蒸镀空间中抽出空气，直至所述蒸发舟打开。
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