[发明专利]真空磁控镀膜室中的遮挡装置无效
| 申请号： | 200810235988.4 | 申请日： | 2008-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN101736301A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 赵子东 | 申请（专利权）人： | 苏州新爱可镀膜设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 张家港市高松专利事务所 32209 | 代理人： | 黄春松 |
| 地址： | 215625 江苏省张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能够有效阻挡阴极溅射下的杂质、保证镀膜质量的真空磁控镀膜室中的遮挡装置，包括：腔室，设置在腔室内的阴极靶材装置和玻璃输送辊道，在阴极靶材装置的四周设置有冷却挡板，并且冷却挡板的底部设有向内弯折的折边。本发明适合于真空镀膜玻璃的生产装置。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 镀膜 中的 遮挡 装置 | ||
【主权项】：
真空磁控镀膜室中的遮挡装置，包括：腔室，设置在腔室内的阴极靶材装置和玻璃输送辊道，其特征在于：在阴极靶材装置的四周设置有冷却挡板，并且冷却挡板的底部设有向内弯折的折边。
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