[发明专利]面发射多色发光二极管及其制造方法

摘要

本发明是具有表面为凸起的条纹图案状结构的氮化物面发射多色发光二极管，其结构是：包括衬底(1)、n型氮化镓模板层(2)、介质图案层(3)、有源层(5)和电极，在介质图案层窗口方向暴露出的n型氮化镓模板层的上面设有凸起的n型氮化镓脊形条纹(4)，在所述脊形条纹的小面上自下往上依次设置有源层、小面p型氮化镓层及p型欧姆接触层；其制备方法是：在衬底上设置的n型氮化镓模板层的表面沉积介质薄膜，通过光刻和对介质薄膜进行湿法腐蚀获得图形氮化镓模板，再将模板放入外延设备反应室中进行再生长。本发明发光效率和光提取效率较高，可以实现波长剪裁、多色光合成、线偏振光发射和包括白光在内的各种颜色的发光二极管线偏振光源。

主权项

1. 一种面发射多色发光二极管，包括衬底(1)、n型氮化镓模板层(2)、介质图案层(3)、有源层(5)和电极，其特征是：在介质图案层(3)窗口方向暴露出的n型氮化镓模板层(2)的上面设有凸起的n型氮化镓脊形条纹(4)，在所述脊形条纹的小面上自下往上依次设置有源层(5)、小面p型氮化镓层(6)及p型欧姆接触层(7)，由此构成具有表面为凸起的条纹图案状结构的氮化物面发射多色发光二极管。