[发明专利]快速闪光退火炉的六气互锁控制系统

摘要

本发明公开了一种电气控制中六路气路互锁控制方式，该方式可以对六种气体的流量进行微量调节控制，并可对各气体流量进行反馈检测实行闭环控制，精确控制气体流量，还有很强的气路互锁功能，严防不能混合的气体同时进气。提高了工艺气体的互锁等级，保证不会使工艺气体混淆，提高了快速闪光退火炉的可靠性。

主权项

一种工艺气体的互锁控制方式，本发明是对快速闪光退火炉的输送工艺气体控制方式的改进，在设计中，采用光电隔离将控制电路与气路驱动电路隔离，减少电磁阀门等执行件的操作带来的干扰，采用多触点继电器，控制继电器触点之间的通断来实现气路间的互锁，其特征在于：(1).系统复位时，六种气体的气路全部锁定在关闭状态；(2).氩气(AR)，氩氢混合气(AR/H2)不能同时开；(3).氯化氢(HCL)，氨气(NH3)不能同时打开；(4).氨气(NH3)，氧气(O2)不能同时打开；(5).氧气(O2)，氩氢混合气(AR/H2)不能同时开；(6).氨气(NH3)，氩氢混合气(AR/H2)不能同时开。