[发明专利]新型磁四极透镜管道无效
| 申请号： | 200810238900.4 | 申请日： | 2008-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101764031A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 田小海;伍三忠;郭健辉 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/02;H01L21/265 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种应用于半导体制造离子注入工艺中所应用的离子注入机磁四极透镜管道，它包括一个密封管道、一个抽气管道、一个连接法兰。这三件零件焊接成为一个整体或整体铸造成型。本发明通过管道外形的优化设计，提高了管道容积，增大了真空系统的抽气流导，缩短了注入机真空系统建立的时间，提高了生产效率，且安装及维修性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 磁四极 透镜 管道 | ||
【主权项】：
本磁四极透镜管道由密封管道1、抽气管道2、连接法兰3三部分组成，其抽气管道部分的外形为与极头相切的曲面。管道的制造可有两种方法：焊接连接，三件零件的材料采用不锈钢；整体铸造，然后内外表面抛光，材料选取铝。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科信电子装备有限公司，未经北京中科信电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810238900.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
