[发明专利]数控扫描波形发生器无效
| 申请号： | 200810238901.9 | 申请日： | 2008-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101764032A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 王迪平;孙勇;胡东京 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/147;H01L21/265 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种数控扫描波形发生器，该数控扫描波形发生器包括以下部分：DAC1(数模转换器)，DAC2，系统控制器，比较器，积分器，放大器，电阻，电容，扫描速度控制，位置脉冲，扫描波形组成。本发明与传统的离子注入机扫描波形发生器相比，其特点为扫描周期为固定常数，但在一个扫描周期内，实际进行扫描的时间可通过软件进行精确调节，即扫描的占空比可精确调节。另外，在不需要对束流进行扫描的调束阶段，它可对束流行使偏转的作用，节省了一个束偏转控制器。 | ||
| 搜索关键词： | 数控 扫描 波形 发生器 | ||
【主权项】：
一种数控扫描波形发生器包括：两个DAC(数模转换器)，一系统控制器，一比较器，一积分器，一放大器，一电阻，一电容，一扫描速度控制信号，一位置脉冲信号，一扫描波形，其特征在于：(1)扫描周期为固定常数；(2)在一个扫描周期内，扫描的占空比可精确调节；(3)集合了偏转和扫描的控制功能；(4)采用单片机进行微处理控制。
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