[发明专利]一种阻抗匹配器、阻抗匹配方法和等离子体处理系统有效
| 申请号： | 200810239148.5 | 申请日： | 2008-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN101754566A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 王一帆;武晔 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种阻抗匹配器，包括检测单元、控制单元和执行机构，该控制单元包括微处理器和执行机构驱动模块，该微处理器根据工艺需要控制执行机构驱动模块进入相应的工作状态，并且根据来自检测单元的检测值执行匹配控制算法，将由此得到的匹配网络中的阻抗调整量输入至执行机构，所述工作状态包括睡眠状态、通电状态、运行状态和保持状态；所述执行机构根据所述调整量对匹配网络中的阻抗进行调整，以减小射频传输线上的反射功率，使射频发生器产生的功率输送至等离子体处理腔室。此外，本发明还公开一种阻抗匹配方法及应用上述阻抗匹配器和/或方法的等离子体处理系统。本发明能够提高阻抗匹配的精度，并能够延长阻抗匹配器等部件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阻抗 配器 阻抗匹配 方法 等离子体 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种阻抗匹配器，包括检测单元、控制单元和执行机构，所述检测单元用于检测射频传输线上的电压、电流、前向功率、反向功率，并将其输出至控制单元；所述控制单元根据来自检测单元的相应检测值执行匹配控制算法，并将由此得到的匹配网络中的阻抗调整量输入至执行机构；所述执行机构根据所述调整量对匹配网络中的阻抗进行调整，以减小射频传输线上的反射功率，使射频发生器产生的功率输送至等离子体处理腔室，其特征在于，所述控制单元包括微处理器和执行机构驱动模块，所述微处理器根据工艺需要控制执行机构驱动模块进入相应的工作状态，所述工作状态包括睡眠状态、通电状态、运行状态和保持状态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810239148.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
