[发明专利]一种振动式微机械陀螺有效
| 申请号： | 200810239192.6 | 申请日： | 2008-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN101441081A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 高宏;王庆;齐晓红 | 申请（专利权）人： | 紫光股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 代理人： | 罗文群 |
| 地址： | 100084北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种振动式微机械陀螺，属于微机电系统中惯性传感器技术领域。微机械陀螺中，驱动质量块固定在微机械陀螺玻璃衬底的锚点上。检测质量块和隔离质量块位于驱动质量块内，检测质量块固定在微机械陀螺玻璃衬底的锚点上，隔离质量块与驱动质量块和检测质量块相对固定。检测电容固定电极和检测电容可动电极位于检测质量块内，检测电容的固定电极固定在微机械陀螺玻璃衬底上，检测电容的可动电极与检测质量块相对固定。驱动电容可动电极与驱动质量块相对固定，驱动电容的固定电极固定在微机械陀螺玻璃衬底上。本发明微机械陀螺的优点是：不存在机械耦合问题；完全消除了机械耦合带来的检测干扰，提高了机械陀螺灵敏度，易于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 振动 式微 机械 陀螺 | ||
【主权项】：
1、一种振动式微机械陀螺，其特征在于，该微机械陀螺包括驱动质量块、检测质量块、隔离质量块、驱动电容固定电极、驱动电容可动电极、检测电容固定电极和检测电容可动电极；所述的驱动质量块通过驱动弹性梁固定在微机械陀螺玻璃衬底的锚点上；所述的检测质量块和隔离质量块位于驱动质量块内，检测质量块通过检测弹性梁固定在微机械陀螺玻璃衬底的锚点上，所述的隔离质量块通过y方向隔离弹性支撑梁与驱动质量块相对固定，并通过x方向隔离弹性支撑梁与检测质量块相对固定；检测电容固定电极和检测电容可动电极位于检测质量块内，检测电容的固定电极固定在微机械陀螺玻璃衬底上，检测电容的可动电极与检测质量块相对固定；所述的驱动电容可动电极与驱动质量块相对固定，驱动电容的固定电极固定在微机械陀螺玻璃衬底上。
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