[发明专利]彩色滤光片的制造方法及设备无效
| 申请号： | 200810241196.8 | 申请日： | 2008-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101770050A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 何璇;张卓;杨久霞;李琳;赵吉生;张海清 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/23 | 分类号： | G02B5/23;G03F7/16;G03F7/00;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种彩色滤光片的制造方法及设备。方法包括：对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热，使所述蒸发舟中放置的光阻原料汽化；汽化的光阻原料形成在扣设有掩膜版的目标基板上，所述目标基板设置于所述蒸发舟上方设定距离处；将目标基板上汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形。本发明的技术方案中通过将形成在目标基板上的汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形，与现有技术中的彩色滤光片的制造方法相比，工艺简单，容易实现。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 滤光 制造 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种彩色滤光片的制造方法，其特征在于，包括：对真空状态的封闭室中的蒸发舟加热，使所述蒸发舟中放置的光阻原料汽化；汽化的光阻原料形成在扣设有掩膜版的目标基板上，所述目标基板设置于所述蒸发舟上方设定距离处；将目标基板上汽化的光阻原料冷却固化，形成光阻图形。
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