[发明专利]一种三光波横向剪切干涉装置及提取差分相位的方法

摘要

本发明提供了一种三光波横向剪切干涉的装置及提取差分相位的方法，该装置包括：光源、待测物体、第一透镜、空间光调制器、第二透镜和电荷耦合器件，其中待测物体位于第一透镜的前焦面上，第一透镜的后焦面放置空间光调制器，空间光调制器位于第二透镜的前焦面，电荷耦合器件位于第二透镜的后焦面上，且光源、待测物体、第一透镜、空间光调制器、第二透镜和电荷耦合器件构成共轴装置。本发明利用加载到空间光调制器上的计算全息余弦光栅，控制±1级衍射光相对零级的相移量和剪切量，可以实时动态地生成相移剪切干涉图，通过对干涉图强度的计算求出差分相位。本发明具有原理简单、结构紧凑、调控精度高、动态调控等优点。

主权项

1、一种三光波横向剪切干涉的装置，其特征是该装置包括：光源(1)、第一透镜(3)、空间光调制器(4)、第二透镜(5)和电荷耦合器件(6)，其中待测物体(2)位于第一透镜(3)的前焦面上，第一透镜(3)的后焦面放置空间光调制器(4)，空间光调制器(4)位于第二透镜(5)的前焦面，电荷耦合器件(6)位于第二透镜(5)的后焦面上，且光源(1)、待测物体(2)、第一透镜(3)、空间光调制器(4)、第二透镜(5)和电荷耦合器件(6)构成共轴装置。