[发明专利]一种微区可控纳米功能材料合成加热装置

摘要

本发明涉及一种微区可控纳米功能材料合成加热装置，解决了现有纳米功能材料合成设备存在的体积庞大、耗能、耗时、合成方法单一且可控性差的问题。本发明包括矩形盒体和盒盖，盒体相对应的两侧壁上分别设有进气接口和出气接口，另两侧壁上分别设有电线接口；盒体内由下至上依次设有冷却水管、散热基座、工作台、接线台、下平板和上平板，工作台中部设有上大下小的阶梯形孔，接线台上设有接线头和探针。本发明体积小，体积为240dm³，便于移动；抽真空耗时缩短至5-15分钟，升温与冷却时间高度可控，可在2-10分钟内完成整个升降温过程；可以在已做好外电路的硅衬底上制备纳米结构；可在同一衬底上集成多种纳米结构；水、电、气消耗减少至原先的5-10％。

主权项

1、一种微区可控纳米功能材料合成加热装置，其特征在于：包括密闭腔室，所述密闭腔室包括矩形盒体(19)和盒盖(20)；所述矩形盒体(19)相对应的两侧壁上分别设有进气接口(1)、出气接口(11)，相对应的另两侧壁上分别设有电线接口(8)；一个矩形散热基座(14)通过四个角上的四根立柱(4)固定设于盒体(19)内中部，散热基座(14)中部为下凹的散热空腔(15)；散热基座(14)底部的盒体(19)内设有冷却水管(10)，冷却水管(10)的两端分别为进水口和出水口，且进水口和出水口分别伸至盒体(19)外部；散热基座(14)的顶面设有工作台(13)，工作台(13)中部设有上大下小的阶梯形孔；与两侧壁上的电线接口(8)相对应的工作台(13)两侧上部通过立柱分别固定设有接线台(9)，接线台(9)上设有接线头(18)和探针(6)，接线头(18)和探针(6)通过电线组(7)连接电线接口(8)；接线台(9)上部依次设有下平板(29)和上平板(28)，下平板(29)和上平板(28)与工作台平行，且下平板(29)和上平板(28)上分别均布有通孔；所述盒盖(20)中部设有观察窗孔(25)，观察窗孔(25)外侧面设有钢化玻璃板(24)，其内侧面设有电磁铁定位卡环(27)；观察窗孔(25)内设有电磁铁。