[发明专利]镀膜装置及其所使用的镀膜伞架遮罩无效
| 申请号： | 200810300610.8 | 申请日： | 2008-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN101538699A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 王仲培;张庆州 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜装置，其包括一个镀膜伞架，所述镀膜伞架具有多个容置通孔，所述多个容置通孔用于容置待镀工件，所述镀膜装置还包括：一个镀膜伞架遮罩，用于罩住该镀膜伞架，其包括一个第一罩体及一个第二罩体，所述第一罩体用于直接罩在该镀膜伞架上，其包括一个中空伞状支架，所述伞状支架包括多个支撑轴，所述每个支撑轴的内侧设置有多个遮挡片，所述多个遮挡片与所述镀膜伞架的容置通孔相对应而设置，所述第二罩体用于罩住第一罩体，且其高度不小于第一罩体的高度。所述镀膜伞架遮罩可防止待镀工件被污染以及可以克服因制程加热而导致工件变形问题。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 及其 使用 伞架 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜装置，其包括一个镀膜伞架，所述镀膜伞架具有多个容置通孔，所述多个容置通孔用于容置待镀工件，其特征在于，所述镀膜装置还包括：一个镀膜伞架遮罩，用于罩住该镀膜伞架，其包括一个第一罩体及一个第二罩体，所述第一罩体用于直接罩在该镀膜伞架上，其包括一个中空伞状支架，所述伞状支架包括多个支撑轴，所述每个支撑轴的内侧设置有多个遮挡片，所述多个遮挡片与所述镀膜伞架的容置通孔相对应而设置，所述第二罩体用于罩住第一罩体，且其高度不小于第一罩体的高度。
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