[发明专利]加速度计

摘要

一种加速度计，其包括一基底、一盖板、一光源、一具有第一表面的衬底、一可动板及位于该衬底第一表面的第一锚定件、第二锚定件、第一弹性连接部和第二弹性连接部，该基底与该盖板构成一封闭空间，该基底承载该衬底，该封闭空间收容该光源，该光源用于提供光线，该可动板包括一个第一透光区和若干非透光区，该可动板两端分别与该第一弹性连接部和该第二弹性连接部相连，该第一弹性连接部、该第二弹性连接部分别由第一锚定件、第二锚定件锚接于该衬底第一表面，该可动板悬于该衬底第一表面上方，该光线经由该可动板的第一透光区照射到该衬底第一表面，该衬底第一表面对应于该可动板的区域交替分布有多个光电感测区及多个非光电感测区。

主权项

【权利要求1】一种加速度计，其特征在于：该加速度计包括一个基底、一个盖板、一个光源、一个具有第一表面的衬底、一个可动板及位于该衬底第一表面的第一锚定件、第二锚定件、第一弹性连接部和第二弹性连接部，该基底与该盖板构成一封闭空间，该基底承载该衬底，该封闭空间收容该光源，该光源用于提供检测用光线，该可动板包括一个第一透光区和若干非透光区，该可动板两端分别与该第一弹性连接部和该第二弹性连接部相连，该第一弹性连接部、该第二弹性连接部分别由该第一锚定件、该第二锚定件锚接于该衬底第一表面，该可动板悬于该衬底第一表面上方且具有一平行于该衬底第一表面的移动方向，该光线经由该可动板的第一透光区照射到该衬底第一表面，该衬底第一表面对应于该可动板的区域、沿该可动板的移动方向交替分布有多个光电感测器及多个非光电感测区。