[发明专利]镀膜设备无效
| 申请号： | 200810304473.5 | 申请日： | 2008-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN101672934A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 洪新钦 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;C23C14/34;C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及真空溅射镀膜设备，一种用于对工件进行镀膜的镀膜设备，其包括具有开口的第一腔体、设置在所述开口处的挡板和红外线加热单元，所述红外线加热单元设置在所述第一腔体中，所述红外线加热单元发出红外线对所述工件加热，所述挡板将所述红外线加热单元密封在所述第一腔体中，所述红外线通过所述挡板后对所述工件进行加热。红外线通过红外线穿透视窗后对工件进行加热，使得红外线加热单元不会受到其他物质的干扰、加热稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备，用于对工件进行镀膜，所述镀膜设备包括具有开口的第一腔体和红外线加热单元，所述红外线加热单元设置在所述第一腔体中，所述红外线加热单元发出红外线对所述工件加热，其特征在于：进一步包括一个设置在所述开口处的挡板，所述挡板将所述红外线加热单元密封在所述第一腔体中，所述红外线通过所述挡板后对所述工件进行加热。
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