[实用新型]电浆蚀刻反应炉预热装置有效
| 申请号： | 200820000357.X | 申请日： | 2008-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN201142780Y | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 陈雄泉 | 申请（专利权）人： | 亚太电浆有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/02 | 分类号： | H05H1/02;H01L21/00;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种电浆蚀刻反应炉预热装置，在电浆蚀刻反应炉内设置有一层以上金属板及预热装置，在金属板下方设置有加热导管，其中预热装置的加热器内含有供热传导使用的可被加热的热传输流体，由连接于歧管的复数加热导管将热传导液体的热量传导和辐射至金属板，使金属板均匀且快速地加热。所提出的电浆蚀刻的预热装置能使被加热的金属板均匀加热，且易于制造和设置，同时该预热装置的加热导管与金属板结合容易，装卸方便。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 反应炉 预热 装置 | ||
【主权项】：
1、一种电浆蚀刻反应炉预热装置，在电浆蚀刻反应炉内设置有一层以上金属板及预热装置，其特征在于；所述金属板背面设有间距而设的复数个固定扣件；所述预热装置包含有加热器、歧管及加热导管，其中加热器内含有供热传导使用的可被加热的热传输流体，由连接于歧管的复数个加热导管将热传导液体的热量传导和辐射至金属板，使金属板加温。
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