[实用新型]一种单面曝光机的对位装置

摘要

本实用新型是有关于一种单面曝光机的对位装置，包括一定位基板、一对位板及一升降机构；定位基板包括至少一横向移动机构及两组相互平行的纵向移动机构；对位板设在定位基板上方，利用横向移动机构及纵向移动机构加以支撑；升降机构包括一升降体、一止回转中心轴、一动力源及多支升降杆，止回转中心轴通过升降体连结定位基板及对位板，并定位上述三者于垂直向的位置。该单面曝光机的对位装置可以调动一曝光物至曝光定位，且具有控制系统简单化的功效，借由这样的装置能提高对位的精准度以及简化维修的问题。

主权项

1、一种单面曝光机的对位装置，其特征在于：包括：一定位基板，该定位基板上包括：至少一组横向(X轴)移动机构，置于该定位基板上，该机构由一驱动单元连结至少一微动承座所构成，该微动承座由一X向滑块向上陆续叠合一Y向滑块与一组θ向转盘而组成；及两组纵向(Y轴)移动机构，平行置放在该定位基板上，该机构亦由一驱动单元连结至少一微动承座所构成，该微动承座由一Y向滑块向上陆续叠合一X向滑块与一组θ向转盘而组成；一对位板，设于该定位基板上方，利用该组横向移动机构及该两组纵向移动机构提供支撑，并借由该组横向移动机构的驱动，进行X轴方向的横向位移，且由该两组纵向移动机构的驱动，进行Y轴方向的纵向位移及θ向角度的转移；以及一升降机构，用以定位该对位板及该定位基板于垂直方向(Z轴)的相对位置，该升降机构包括：一升降体，设置于该定位基板中心区域的下方适当处；一止回转中心轴(Z轴)，贯穿该升降体、该定位基板及该对位板，以联结并定位上述三者于垂直向(Z轴)的位置；一动力源，驱动该止回转中心轴转动，以带动该升降体在垂直向(Z轴)进行线性位移；及多支升降杆，设置在该升降体向上连结至该定位基板底部。