[实用新型]可防止绕镀的基板载具无效
| 申请号： | 200820006107.7 | 申请日： | 2008-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN201158703Y | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 黄泳钊;郑博仁 | 申请（专利权）人： | 北儒精密股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司 | 代理人： | 万学堂;桑丽茹 |
| 地址： | 台湾省台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可防止绕镀的基板载具，可供至少一片基板架设，包括：一个承载板，以及至少一个将基板架设在承载板上的架设单元，该承载板包括一个供基板架设的基板架设部。本实用新型的特征在于：该承载板还包括：两个自基板架设部往相反侧突出的防绕部，前述防绕部并可在基板载具沿着一行进方向移送时，和另一块基板载具上相邻的防绕部重叠。借此可在基板载具载运基板进入溅镀室时，防止镀膜材料由两块基板载具间的间隙绕到基板背面并附着在背面上，以达到提高载运基板溅镀品质的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 可防止 基板载具 | ||
【主权项】：
1.一种可防止绕镀的基板载具，可供至少一片基板架设，包括：一个承载板，以及至少一个将所述基板架设在承载板的一个基板架设部上的架设单元；其特征在于：该承载板还包括位在该基板架设部的相反侧的一第一防绕部、一第二防绕部，前述防绕部并可在基板载具沿着一行进方向移送时，和另一块基板载具上的防绕部重叠。
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