[实用新型]光罩导引装置无效
| 申请号： | 200820008244.4 | 申请日： | 2008-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN201181390Y | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 郑玉纶 | 申请（专利权）人： | 钰衡科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;C23C14/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 中国台湾台南县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型关于一种光罩导引(guide)装置，包括一光罩、一承载板、至少一取像模块以及至少二定位模块，其中该光罩用以溅镀导电图案于一工件上，该光罩与工件分别设有复数个对位标记；该承载板用以承载该光罩与工件，设有至少二定位挡块，并在该承载板二侧边各设有至少一凹陷处；该取像模块用以进行该光罩与工件的对位，设置于该承载板的上方对应于该光罩与工件对位标记的位置；以及该定位模块用以进行该光罩与工件的定位，分别设置于该承载板二侧的凹陷处。 | ||
| 搜索关键词： | 导引 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光罩导引装置，其特征在于，包括：一用以溅镀导电图案于一工件上的光罩，该光罩与工件分别设有复数个对位标记；一用以承载该光罩与工件的承载板，设有至少二定位挡块，并在该承载板二侧边各设有至少一凹陷处；至少一用以进行该光罩与工件对位的取像模块，设置于该承载板的上方对应于该光罩与工件对位标记的位置；以及至少二用以进行该光罩与工件定位的定位模块，分别设置于该承载板二侧的凹陷处。
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