[实用新型]一种刻蚀槽无效
| 申请号： | 200820030275.X | 申请日： | 2008-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN201282096Y | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 何建;郭荒;赵平;孔德龙;赵永志;岳先勇 | 申请（专利权）人： | 彩虹显示器件股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/20 | 分类号： | H01J9/20 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 71202*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种刻蚀槽，环形槽体内水平垂直方向设置有隔断，两个隔断间设置垫块，环形槽体壁一端设置进口，另一端设置出口。隔断高度等于或略低于垫块高度。本实用新型采用隔断可以减小新型刻蚀槽内溶解液的波动，减少刻蚀液溅散不良的发生。垫块可以控制屏裙部进入刻蚀液的深度。该实用新型有效地满足了多管种兼容生产、保证了屏裙部石墨高度的一致性、解决了刻蚀液溅散不良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 | ||
【主权项】：
1、一种刻蚀槽，包括环形槽体(5)，其特征在于，环形槽体(5)内水平垂直方向设置有隔断(1)，两个隔断(1)间设置垫块(4)，环形槽体(5)壁一端设置进口(2)，另一端设置出口(6)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于彩虹显示器件股份有限公司，未经彩虹显示器件股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200820030275.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
