[实用新型]硅晶棒粘棒台有效

专利信息
申请号: 200820030959.X 申请日: 2008-01-16
公开(公告)号: CN201183291Y 公开(公告)日: 2009-01-21
发明(设计)人: 毛和璜;赵建兴 申请(专利权)人: 常州有则科技有限公司
主分类号: B28D1/22 分类号: B28D1/22
代理公司: 常州市科谊专利代理事务所 代理人: 孙彬
地址: 213022江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种硅晶棒粘棒台,它是将硅晶棒粘接到切割机的晶棒托上,然后在切割机床上切割成硅晶片的工装夹具。硅晶棒粘棒台由台座和二组台钳组成,台座两端尾座上装有可绕自身轴线回转的尾盘是用于栓接晶棒托的,台钳钳臂上部二组楔形滑块形成【】形钳口是用来夹持硅晶棒的。调节楔形滑块的进出,可调节【】形钳口的中心;调节二组【】形钳口的中心,则可调节夹持在钳口中硅晶棒的轴线。若将硅晶棒与晶棒托调节到同心同轴后加热粘接,再上切割机床进行切割,可以避免硅晶棒在切割时因其轴线与切割机加工轴线偏斜而坯料报废的事故。
搜索关键词: 硅晶棒粘棒台
【主权项】:
1、一种硅晶棒粘棒台,由台座(1)和二组台钳(2)组成,其特征在于:台座(1)台面中央固定有二根互为平行的纵向导轨(1-1),一侧固定有一根与导轨(1-1)平行的导杆(1-2);导轨(1-1)两端各固定一尾座(1-3),尾座(1-3)上各装有一个可绕自身轴线回转的尾盘(1-4);台钳(2)由钳座(2-1)和左、右钳臂(2-2,2-3)组成,钳座(2-1)滑动连接在台座导轨(1-1)和导杆(1-2)上;钳座(2-1)正面固定有一根与台座导轨(1-1)方向垂直的螺杆(21-2)和一根与螺杆(21-2)平行的钳座导轨(21-1),左、右钳臂(2-2,2-3)下部镶嵌有螺母(22-1,23-1),螺母(22-1,23-1)与螺杆(21-2)螺纹连接,左、右钳臂(2-2,2-3)下部的凹槽滑动连接在钳座导轨(21-1)上;左、右钳臂(2-2,2-3)上部均没有二平行滑槽,滑槽内滑动连接有上、下楔形滑块(22-2,22-3,23-2,23-3),楔形滑块上、下、左、右对称排列形成【】形钳口;各楔形滑块上均设有一长圆孔,压紧螺丝(2-4)穿越长圆孔与钳臂上的螺孔相连接;左、右钳臂(2-2,2-3)滑槽内还固定有矩形螺母(2-5),调节螺丝(2-6)与矩形螺母(2-5)螺纹连接,且其头部顶紧楔形滑块(22-2,22-3,23-2,23-3)的尾部。
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