[实用新型]具有LED光源的直写光刻机无效
| 申请号： | 200820032642.X | 申请日： | 2008-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN201159831Y | 公开（公告）日： | 2008-12-03 |
| 发明（设计）人： | 王骥;张东涛 | 申请（专利权）人： | 芯硕半导体(中国)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所 | 代理人： | 金惠贞 |
| 地址： | 230601安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术中的微细加工设备，即具有LED光源的直写光刻机。解决了现有光源使用寿命短、耗电高、温度高和体积大的问题。本实用新型直写光刻机采用发光二极管光源，所述发光二极管光源通过电路板设于铜制散热块上，铜制散热块底部设有位置调节机构。本实用新型发光二极管光源寿命长达20000个小时；其发热量非常低，大大降低了整个温控系统的设计难度；光路中不需要加装以往汞灯光路中必须要加装的滤光片、波段反射镜等光学部件，光功率的利用效率更高，光路设计更加简化，使得整机的体积缩小，结构更加紧凑，降低整机成本。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 led 光源 光刻 | ||
【主权项】：
1、具有LED光源的直写光刻机，包括光源、聚光透镜组、孔径光、聚光透镜、全反射镜、数字掩模版和晶圆表面，其中光源、聚光透镜组、孔径光和聚光透镜位于同一轴线上，且与全反射镜对应，全反射镜与一侧上方的数字掩模版对应，数字掩模版通过其下方的投影光路与晶圆表面对应，其特征在于：所述光源为发光二极管光源。
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