[实用新型]一种净化硅烷中微量杂质的净化器无效
| 申请号： | 200820033718.0 | 申请日： | 2008-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN201201904Y | 公开（公告）日： | 2009-03-04 |
| 发明（设计）人： | 林培川 | 申请（专利权）人： | 南京特种气体厂有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 程化铭 |
| 地址： | 211113*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种净化硅烷中微量杂质的净化器，包括液态硅烷原料罐、缓冲罐、分子筛装置、复合催化剂脱氧罐和深度脱水分子筛，上述设备依次串联；液态硅烷原料罐置于超声波发生器之上，罐内设有伸入罐体底部的虹吸管，虹吸管与灌口的气瓶阀门联通；深度脱水分子筛的出气口分为两个接口，其中一个接口可在真空泵和反吹气源间切换；复合催化剂脱氧罐内装复合催化剂。本净化器采用高压液化脱除永久性气体，配合超声波脱气技术，多级吸附剂、混合催化剂串联技术、低温装瓶等技术，可提高脱除永久性气体杂质的效果，克服了低温精馏设备投资大，分子筛净化效果不明显的缺陷。催化剂、吸附再生在系统内完成，可反复使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 净化 硅烷 微量 杂质 净化器 | ||
【主权项】：
1、一种净化硅烷中微量杂质的净化器，包括液态硅烷原料罐、缓冲罐、分子筛装置、复合催化剂脱氧罐和深度脱水分子筛，上述设备依次串联；其特征是：液态硅烷原料罐置于超声波发生器之上，罐内设有伸入罐体底部的虹吸管，虹吸管与灌口的气瓶阀门联通；深度脱水分子筛的出气口分为两个接口，其中一个接口可在真空泵和反吹气源间切换，另一接口用于连接硅烷气瓶；复合催化剂脱氧罐内装复合催化剂。
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