[实用新型]硅片自动开沟机无效
| 申请号： | 200820034606.7 | 申请日： | 2008-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN201180156Y | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 成铁军;唐健 | 申请（专利权）人： | 苏州固锝电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24;H01L21/306 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 马明渡 |
| 地址： | 215153江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅片自动开沟机，包括酸槽及防酸花篮，防酸花篮设置在酸槽内，还包括机架以及往复直线运动气缸，所述防酸花篮与机架固定连接，所述往复直线运动气缸的作用端与机架相连，并在往复直线运动方向上作用于机架。本方案解决了操作人员劳动强度过大容易疲劳，且不能保证晃动中的稳定性及生产效率不高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 自动 开沟机 | ||
【主权项】：
1、一种硅片自动开沟机，包括酸槽(2)及防酸花篮(1)，防酸花篮(1)设置在酸槽(2)内，其特征在于：还包括机架(4)以及往复直线运动气缸(5)，所述防酸花篮(1)与机架(4)固定连接，所述往复直线运动气缸(5)的作用端与机架(4)相连，并在往复直线运动方向上作用于机架(4)。
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