[实用新型]外延炉尾气净化器

摘要

本实用新型涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种对Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器。它具有PID控制器(35)、实时检测外延炉尾气净化器的进气口(8)的负压情况的负压检测装置(34)和控制循环泵组(21)的电机的转速的变频器(36)，负压检测装置(34)安装在进气口(8)处，负压检测装置(34)接PID控制器(35)的输入端，变频器(36)接PID控制器(35)的输出端。本实用新型的外延炉尾气净化器能实时检测外延炉的尾气排放量，根据外延炉尾气排放量控制电机转速，在尾气排放比较少的情况下，控制电机低速运转，达到节能的效果。

主权项

1.一种外延炉尾气净化器，具有壳体(1)，壳体(1)下方设置有密闭的水箱(2)，壳体(1)内设置有横隔板(3)和纵隔板(4)，将壳体内腔分隔成初次洗涤室(5)、二次洗涤室(6)和填料室(7)，二次洗涤室(6)设在初次洗涤室(5)上方，横隔板(3)中心开有通气口，横隔板(3)与壳体(1)间工作时形成水封，初次洗涤室(5)底部和填料室(7)底部与水箱(2)间工作时形成水封，壳体(1)顶端装有进气口(8)，进气口(8)通过进气管道(9)与初次洗涤室(5)下部相通，二次洗涤室(6)与填料室(7)通过通气管道(10)连通，初次洗涤室(5)内装有大流量喷嘴喷淋装置(11)，二次洗涤室(6)内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置(12)，填料室(7)的上部设置有填料室横隔板(23)，填料室横隔板(23)上有孔，填料室横隔板(23)下方的填料室(7)内充填有填料(13)，填料室(7)的顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置(14)，排泄锥喷嘴喷淋装置(14)下方设置有文丘里管(16)，文丘里管(16)底部与填料室横隔板(23)固定连接，填料室横隔板(23)在对应于文丘里管(16)的管口处还开设有与文丘里管(16)的管口相配的孔，通气管道(10)的进口在二次洗涤室(6)的上部、出口正对填料室(7)的排泄锥喷嘴喷淋装置(14)，填料室(7)的外部装有排气管道(15)，排气管道(15)的下端接入填料室(7)的下部，水箱(2)顶端装有向水箱(2)补水的补水口(17)、水箱(2)的底部装有排污口(18)和排净口(19)，初次洗涤室(5)下部装有通向壳体(1)外的溢流管道(20)，溢流管道(20)的溢流口高于初次洗涤室(5)的底面，壳体(1)外装有循环泵组(21)，循环泵组(21)的进水口通入水箱(2)液面下、出水口通过水管(22)与大流量喷嘴喷淋装置(11)、细雾高速喷嘴喷淋装置(12)及排泄锥喷嘴喷淋装置(14)相连，其特征是：还具有PID控制器(35)、实时检测进气口(8)的负压情况的负压检测装置(34)和控制循环泵组(21)的电机的转速的变频器(36)，负压检测装置(34)安装在进气口(8)处，负压检测装置(34)接PID控制器(35)的输入端，变频器(36)接PID控制器(35)的输出端。