[实用新型]一种晶圆集装箱的搬运工具有效
| 申请号： | 200820055036.X | 申请日： | 2008-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN201161384Y | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 郭莹莹;吕秋玲;杨洪春;杨斌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种晶圆集装箱的搬运工具，包括，第一握持部(1)、第二握持部(2)、旋转轴(3)、第一夹持部(4)和第二夹持部(5)，其中第一夹持部(4)和第二夹持部(5)的底端都包括一个勾持部(7)，第一夹持部(4)和第一握持部(1)通过旋转轴(3)相连接；第二握持部(2)和第二夹持部(5)通过旋转轴(3)相连接。本实用新型不但能提高搬运晶圆的效率，而且不增加成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集装箱 搬运 工具 | ||
【主权项】：
1、一种晶圆集装箱的搬运工具，其特征在于，包括，第一握持部(1)、第二握持部(2)、旋转轴(3)、第一夹持部(4)和第二夹持部(5)，其中第一夹持部(4)和第二夹持部(5)的底端都包括一个勾持部(7)，第一夹持部(4)和第一握持部(1)通过旋转轴(3)相连接；第二握持部(2)和第二夹持部(5)通过旋转轴(3)相连接。
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