[实用新型]一种可提高转移安全性的晶舟转换器

摘要

本实用新型提供了一种可提高转移安全性的晶舟转换器，用于将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟。现有技术并未设置压力侦测单元，致使在初始晶舟和目的晶舟未对齐或两者与顶推机构未对齐时损毁晶圆。本实用新型具有底座和顶推机构，该底座上具有导轨、用于驱动顶推机构沿导轨运动的驱动装置和用于控制驱动装置的控制模块，该顶推机构具有设置在导轨中的从动件、垂直设置在该从动件上的连接件和垂直设置在该连接件上的顶推件，该从动件与该连接件间设置有一压力侦测单元，其侦测到该从动件所承受的压力大于一预设压力值时发出一触发信号，该控制模块接收到该触发信号时停止控制该驱动装置驱动顶推机构顶推晶圆。本实用新型可大大提高晶圆转移的安全性。

主权项

1、一种可提高转移安全性的晶舟转换器，用于将晶圆从初始晶舟转移至目的晶舟，该晶舟转换器具有一用于置放初始晶舟和目的晶舟的底座和一设置在底座一侧且用于将晶圆从初始晶舟顶推至目的晶舟的顶推机构，该底座上具有容纳该顶推机构的导轨、一用于驱动该顶推机构沿导轨运动的驱动装置和一用于控制该驱动装置的控制模块，该顶推机构具有一设置在导轨中的从动件、一垂直设置在该从动件上的连接件以及一垂直设置在该连接件上且直接顶推晶圆的顶推件，其特征在于，该从动件与该连接件间设置有一压力侦测单元，该压力侦测单元侦测到该从动件所承受的压力大于一预设压力值时发出一触发信号，该控制模块接收到该触发信号时，其停止控制该驱动装置驱动该顶推机构。