[实用新型]多晶硅铸锭炉有效

专利信息
申请号: 200820056088.9 申请日: 2008-03-11
公开(公告)号: CN201162068Y 公开(公告)日: 2008-12-10
发明(设计)人: 河野贵之;贺贤汉 申请(专利权)人: 上海汉虹精密机械有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B28/06;C01B33/02;B22D27/04
代理公司: 上海天翔知识产权代理有限公司 代理人: 吕伴
地址: 200444上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开的多晶硅铸锭炉,包括腔体;位于所述的腔体内的坩埚,所述的坩埚用于装入硅;位于所述腔体内且设置在所述坩埚四周的隔热材料;设置在所述隔热材料内的加热器;所述加热器对装入所述的坩埚内的硅进行加热;其特征在于,还包括:设置在所述的坩埚下部并位于所述的隔热材料内的冷却装置。所述的冷却装置上设置有一驱动所述的冷却装置运动的第二移动装置。本实用新型在使用坩埚制造具有单向凝固组织的硅锭时以低成本提供适合大规模生产的制造装置,同时提供能够安全制造的方法,其工业价值显然是很大的。
搜索关键词: 多晶 铸锭
【主权项】:
1.多晶硅铸锭炉,包括:一腔体;位于所述的腔体内的坩埚,所述的坩埚用于装入硅;位于所述腔体内且设置在所述坩埚四周的隔热材料;设置在所述隔热材料内的加热器;所述加热器对装入所述的坩埚内的硅进行加热;其特征在于,还包括:设置在所述的坩埚下部并位于所述的隔热材料内的冷却装置。
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