[实用新型]二氧化碳激光器谐振腔泄漏检测仪

摘要

本实用新型公开了一种二氧化碳激光器谐振腔泄漏检测仪，其主要包括检测气路部分和测控电路部分，所述的检测气路部分由样气抽取及处理气路、样气测量气路和样气回流气路组成；所述测控电路部分主要包括核心控制电路、微量水检测电路、微量氧检测电路和键盘输入及显示电路；微量水和微量氧检测电路包括水传感器和氧传感器及信号处理电路，水传感器将进入微量水检测气室中的样气中水的含量值转换为电信号，氧传感器将进入微量氧检测气室中的样气中氧的含量值转换为电信号，再经过信号处理电路进行放大和滤波处理后输入到核心控制电路。本实用新型能在线实时检测二氧化碳激光器谐振腔内部冷却管路泄漏和外界空气泄漏的情况。

主权项

1、一种二氧化碳激光器谐振腔泄漏检测仪，其特征是：主要包括检测气路部分和测控电路部分；所述的检测气路部分由样气抽取及处理气路、样气测量气路和样气回流气路组成；样气抽取及处理气路包括进气口、降温盘管、调节阀和吸气泵，进气口为二路，管路依次接进气口、切换阀门、降温盘管、调节阀和吸气泵，吸气泵输出样气进入样气测量气路；样气测量气路由四通接头、进气阀、微量氧检测气室、微量水检测气室、流量计和压力表组成，样气通过四通接头分成三条支路：支路一是微量氧检测气路，管路依次连接进气阀、微量氧检测气室、流量计；支路二是微量水检测气路，管路依次连接进气阀、微量水检测气室、流量计；支路三是样气旁路，旁路内接有流量计和压力表；三条支路流出端通过四通接头进入样气回流气路；样气回流气路包括切换阀门和出气口，其中切换阀门是三通阀，三通阀输出接二个出气口；所述测控电路部分主要包括核心控制电路、微量水检测电路、微量氧检测电路和键盘输入及显示电路；核心控制电路由单片机系统、数模转换电路和I/O接口电路组成，微量水检测电路和微量氧检测电路输出的模拟电压信号通过数模转换电路转换后输入单片机系统，I/O接口电路将单片机系统和键盘输入及显示电路相连；微量水检测电路包括水传感器和信号处理电路，水传感器将进入微量水检测气室中的样气中水的含量值转换为电信号，再经过信号处理电路进行放大和滤波处理后输入到数模转换电路；微量氧检测电路包括氧传感器和信号处理电路，氧传感器将进入微量氧检测气室中的样气中氧的含量值转换为电信号，再经过信号处理电路进行放大和滤波处理后输入到数模转换电路；键盘输入及显示电路主要包括显示驱动电路、数码显示、键盘处理电路、操作按键、光电隔离电路和声光报警，显示驱动电路通过I/O接口电路与单片机系统相连，用来驱动数码显示；键盘处理电路通过I/O接口电路与单片机系统相连，用来处理操作按键的动作；光电隔离电路通过I/O接口电路与单片机系统相连，用来驱动声光报警。