[实用新型]马赫-曾德尔型剪切波面测量系统

摘要

一种马赫—曾德尔型剪切波面测量系统，该系统包括：由入射平板、出射平板、固定底座、第一反射平板、第二反射平板、第三反射平板、第四反射平板、第一导轨、第二导轨、成像透镜、小孔和CCD成像仪构成的干涉系统；提供精度保证的调整设备包括自准直平行光管、第一反射镜、激光准直光源、基准透反射镜、第二反射镜、光阑、第一五棱镜和第二五棱镜；控制处理系统包括压电控制器和计算机处理系统。本实用新型是一种适用于测量大口径，衍射极限下的波面，特别是适用于短相干长度的光源波面，可以进行移相处理，配有实时调整和标定的完整系统。

主权项

1、一种马赫—曾德尔型剪切波面测量系统，特征在于包括：由入射平板(1)、出射平板(2)、固定底座(23)、第一反射平板(3)、第二反射平板(4)、第三反射平板(5)、第四反射平板(6)、第一导轨(7)、第二导轨(8)、成像透镜(9)、小孔(10)和CCD成像仪(11)构成的干涉系统；提供精度保证的调整设备包括自准直平行光管(12)、第一反射镜(13)、激光准直光源(14)、基准透反射镜(15)、第二反射镜(16)、光阑(17)、第一五棱镜(18)和第二五棱镜(19)；控制处理系统包括压电控制器(20、21)和计算机(22)处理系统；上述部件的位置关系如下：入射平板(1)和出射平板(2)为透射反射平板，该入射平板(1)和出射平板(2)的基准面严格平行地顺列地固定在同一个底座(23)上，该底座(23)斜置地固定在一基板的中间偏上位置，所述的第一反射平板(3)固定在第一导轨(7)上，该第一导轨(7)置于所述的基板的右上部位，第一反射平板(3)的方向与所述的入射平板(1)平行，间距为d13，所述的第一反射平板(3)通过第一导轨(7)的调整可沿水平方向移动，所述的第二反射平板(4)的方向与所述的第一反射平板(3)垂直，间距为d34，所述的第二反射平板(4)到所述的出射平板(2)的间距为d24，所述的第三反射平板(5)和第四反射平板(6)互相垂直，中心的间距为d56，共同固定在第二导轨(8)上，该第二导轨(8)置于所述的基板的中下部位，且第四反射平板(6)的方向与所述的入射平板(1)平行，间距为d16，所述的第三反射平板(5)到所述的出射平板(2)的间距为d25，所述的第四反射平板(6)、出射平板(2)和第一反射平板(3)的方向相互平行且中心在一条直线上；在所述的基板上的下边自左至右设置第一反射镜(13)和自准直平行光管(12)，在所述的基板上的左侧自下至上设置激光准直光源(14)和第二反射镜(16)，在所述的基板上的上侧自左至右依次是光阑(17)、第二反射镜(16)、基准透反射镜(15)、入射平板(1)和第一反射平板(3)，在所述的基板上的上侧和所述的出射平板(2)的出射方向设置所述的成像透镜(9)、小孔(10)和CCD成像仪(11)，该CCD成像仪(11)的输出端与计算机(22)相连；所述的第三反射平板(5)装有所述的压电控制机构(20、21)，微动提供移相；沿待测光束入射方向依次是光阑(17)、第二反射镜(16)、基准透反射镜(15)、入射平板(1)和第一反射平板(3)，该入射平板(1)将光束分为透射光束和反射光束，该反射光束经由第四反射平板(6)、第三反射平板(5)至所述的出射平板(2)构成第一光路，所述的透射光束经第一反射平板(3)、第二反射平板(4)反射达到所述的出射平板(2)构成第二光路，所述的第一光路与第二光路等光程；所述的第一反射平板(3)、第二反射平板(4)、第三反射平板(5)和第四反射平板(6)中有一块反射平板的结构是上下两部分构成的，上下部分可分别以垂直方向为轴，顺时针和逆时针方向转动角度，其他那三块反射平板为整块。