[实用新型]一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器

摘要

本实用新型涉及一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器，主要包括外壳、压电陶瓷管I、压电陶瓷管II、导电基座和塑胶导线，所述压电陶瓷管I为控制XY方向的压电陶瓷管，压电陶瓷管I的内外表面分别涂有相互对应的4个导电层，分成4组；所述压电陶瓷管I通过绝缘套与压电陶瓷管II相连，所述压电陶瓷管II为控制Z方向的压电陶瓷管，压电陶瓷管II的内外表面分别涂有导电层，所述导电基座中央置放磁粒，所述塑胶导线自压电陶瓷管的不同导电层引出。本实用新型的有益效果为：克服了现有产品XY方向与Z方向寄生电容存在而引起的相互耦合，影响对压电陶瓷扫描器的控制精度下降的不足。

主权项

1、一种用于扫描探针显微镜的压电陶瓷扫描器，主要包括外壳(1)、压电陶瓷管I(2)、压电陶瓷管II(3)、导电基座(4)和塑胶导线(5)，所述外壳(1)上具有一凸缘形成的安装平台(6)，外壳(1)内侧固定支架(7)，所述压电陶瓷管位于外壳(1)的内筒中，所述外壳(1)的扫描端(10)的内壁形成一凸台，凸台内置放磁粒(11)，所述导电基座(4)固定在扫描端(10)；所述塑胶导线(5)自压电陶瓷管的不同导电层引出，其特征在于：所述压电陶瓷管I(2)中间设有绝缘层(29)，压电陶瓷管I(2)的内外表面分别涂有相互对应的4个导电层，所述压电陶瓷管II(3)中间设有绝缘层(31)，压电陶瓷管II(3)内外表面分别涂有导电层(32)、导电层(33)；所述压电陶瓷管I(2)通过绝缘套(8)与压电陶瓷管II(3)相连接；压电陶瓷管I(3)固定在支架(7)上，所述压电陶瓷管II(3)与外壳(1)之间固定有避震环(9)，压电陶瓷管II(3)与导电基座(4)通过绝缘套(8)相连。