[实用新型]掩模板有效

专利信息
申请号: 200820060806.X 申请日: 2008-10-07
公开(公告)号: CN201392450Y 公开(公告)日: 2010-01-27
发明(设计)人: 蒋顺;常曙光;马骏;袁剑峰;王志鹏;荆常营 申请(专利权)人: 上海天马微电子有限公司
主分类号: G03F1/14 分类号: G03F1/14;G03F1/00;G03F7/00;H01L21/84
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201201上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开一种掩模板,该掩模板上设置两个或两个以上不同的掩模图形,所述掩模图形选自形成液晶显示面板的阵列基板上的栅极和栅极线、硅岛层、源极和漏极、过孔、像素电极的掩模图形中的任一种或两种;本实用新型还公开了另一种掩模板,该掩模板上设置两个或两个以上不同的掩模图形,该掩模图形形成的图案化层选自栅极和栅极线层、硅岛层、源极和漏极层、钝化层、像素电极层中的任一种或两种。通过将形成阵列基板的图案化层所需要的不同掩模图形布置在一张掩模板上的结构设计,并通过该掩模板形成液晶显示面板的阵列基板的所有图案化层,在不增加工艺的同时,使得在液晶显示装置的阵列基板在开发过程的成本降低。
搜索关键词: 模板
【主权项】:
1.一种掩模板,其上设置两个或两个以上不同的掩模图形,其特征在于,所述掩模图形选自形成液晶显示面板的阵列基板上的栅极和栅极线、硅岛层、源极和漏极、过孔、像素电极的工序的掩模图形中的任一种或两种。
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