[实用新型]多晶硅尾气净化装置无效
| 申请号： | 200820062167.0 | 申请日： | 2008-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN201168536Y | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 钟娅玲;钟雨明;曾启明 | 申请（专利权）人： | 四川亚连科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610065四川省成都市一环*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 多晶硅尾气的净化装置，属吸附分离工程技术领域。由至少三个轮流实现吸附、升温再生、冷却再生功能的吸附塔连接构成，其特征是在各塔之间还设置有一氢气循环再生回路，该再生回路由连通于各塔间的循环管路和设在管路上的加热器、压缩机和冷却器构成。优点是吸附床层的再生只采用氢气，从根本上避免了其它再生介质的影响，保证了系统的安全性。采用循环式氢气使吸附剂的再生速度更快，再生更彻底，在提高了收率的同时也使氢气纯度更高。可替代现有的多晶硅吸附净化装置使用。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 尾气 净化 装置 | ||
【主权项】：
1、多晶硅尾气的净化装置，由至少三个轮流实现吸附、升温再生、冷却再生功能的吸附塔连接构成，其特征是在各塔之间还设置有一氢气循环再生回路，该再生回路由连通于各塔间的循环管路和设在管路上的加热器、压缩机和冷却器构成。
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