[实用新型]多晶硅铸锭炉有效
申请号: | 200820080644.6 | 申请日: | 2008-05-15 |
公开(公告)号: | CN201195767Y | 公开(公告)日: | 2009-02-18 |
发明(设计)人: | 张志新;王军;李占贤 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06;C01B33/021;B22D27/04 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人: | 闫立德 |
地址: | 100044北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型属于一种多晶硅铸锭炉,采用炉体固定在支架上,炉体开口向下,炉盖位于炉体下端,启闭炉盖的炉盖提升装置位于支架上,炉盖上设坩埚支架,坩埚支架内设坩埚,隔热体架与坩埚支架上端扣合,加热装置位于隔热体架与坩埚支架内的坩埚周边和上端。本实用新型能有效保护操作人员的安全,提高生产多晶硅铸锭的速度和质量,简化炉体结构,延长设备使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅铸锭炉,主要由炉体、炉盖和支架所组成,其特征在于:炉体固定在支架上,炉体开口向下,炉盖位于炉体下端,启闭炉盖的炉盖提升装置位于支架上,炉盖上设坩埚支架,坩埚支架内设坩埚,隔热体架与坩埚支架上端扣合,加热装置位于隔热体架与坩埚支架内的坩埚周边和上端。
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