[实用新型]一种可更换滤片的过滤排毒筒无效
申请号: | 200820088372.4 | 申请日: | 2008-06-13 |
公开(公告)号: | CN201208536Y | 公开(公告)日: | 2009-03-18 |
发明(设计)人: | 张彩根 | 申请(专利权)人: | 张彩根 |
主分类号: | B01D46/10 | 分类号: | B01D46/10 |
代理公司: | 贵阳中新专利商标事务所 | 代理人: | 李大刚 |
地址: | 313009浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可更换滤片的过滤排毒筒。它包括筒体(1),筒体内设有滤片(2),滤片(2)上设有一组均匀排列的通孔(3),筒体(1)外缠绕有冷却管(4),冷却管(4)一端伸入到筒体(1)内;筒体(1)的筒壁上设有梯台(5),滤片(2)支撑梯台(5)上,在筒体(1)上部设有筒口(6),筒口(6)上设有盖子(7),盖子(7)上设有输入管(8)。与现有技术相比,本实用新型当筒体内滤片上堆积的有毒物质过多后,可以更换筒体内的滤片,不至于使整个排毒过滤筒报废,节约生产成本,也可以提高半导体硅片扩散合格率。 | ||
搜索关键词: | 一种 更换 过滤 排毒 | ||
【主权项】:
1、一种可更换滤片的过滤排毒筒,它包括筒体(1),筒体内设有滤片(2),滤片(2)上设有一组均匀排列的通孔(3),筒体(1)外缠绕有冷却管(4),冷却管(4)一端伸入到筒体(1)内;其特征在于:筒体(1)的筒壁上设有梯台(5),滤片(2)放置在梯台(5)上,在筒体(1)上部设有筒口(6),筒口(6)上设有盖子(7),盖子(7)上设有输入管(8)。
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