[实用新型]一种可更换滤片的过滤排毒筒无效

专利信息
申请号: 200820088372.4 申请日: 2008-06-13
公开(公告)号: CN201208536Y 公开(公告)日: 2009-03-18
发明(设计)人: 张彩根 申请(专利权)人: 张彩根
主分类号: B01D46/10 分类号: B01D46/10
代理公司: 贵阳中新专利商标事务所 代理人: 李大刚
地址: 313009浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种可更换滤片的过滤排毒筒。它包括筒体(1),筒体内设有滤片(2),滤片(2)上设有一组均匀排列的通孔(3),筒体(1)外缠绕有冷却管(4),冷却管(4)一端伸入到筒体(1)内;筒体(1)的筒壁上设有梯台(5),滤片(2)支撑梯台(5)上,在筒体(1)上部设有筒口(6),筒口(6)上设有盖子(7),盖子(7)上设有输入管(8)。与现有技术相比,本实用新型当筒体内滤片上堆积的有毒物质过多后,可以更换筒体内的滤片,不至于使整个排毒过滤筒报废,节约生产成本,也可以提高半导体硅片扩散合格率。
搜索关键词: 一种 更换 过滤 排毒
【主权项】:
1、一种可更换滤片的过滤排毒筒,它包括筒体(1),筒体内设有滤片(2),滤片(2)上设有一组均匀排列的通孔(3),筒体(1)外缠绕有冷却管(4),冷却管(4)一端伸入到筒体(1)内;其特征在于:筒体(1)的筒壁上设有梯台(5),滤片(2)放置在梯台(5)上,在筒体(1)上部设有筒口(6),筒口(6)上设有盖子(7),盖子(7)上设有输入管(8)。
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