[实用新型]一种谐振式石英晶体温度传感器

摘要

一种谐振式石英晶体温度传感器，它涉及一种光机电一体化的温度传感器。本实用新型克服了现有石英音叉温度传感器响应时间长、温度分辨率低、抗干扰能力差以及无法满足各个测温场合的缺点。本实用新型的音叉表面开有以音叉的中心线对称分布的多个孔，位于第一叉臂上的孔的内壁固定有与第一电极连接的金属膜，位于第二叉臂上的孔的内壁固定有与第二电极连接的金属膜，音叉的侧壁开有以音叉的中心线对称的多个缺口，位于第一叉臂侧壁上的缺口和位于音叉基础的左侧壁的缺口的内壁均固定有与第二电极连接的金属膜，位于第二叉臂上的缺口和位于音叉基础的右侧壁上的缺口的内壁均固定有与第一电极连接的金属膜。本实用新型可以满足众多测温场合的需要。

主权项

1、一种谐振式石英晶体温度传感器，它由音叉(3)、第一管脚(4)、第二管脚(5)、管座(6)、管帽(8)、玻璃密封料(7)、第一电极(1)和第二电极(2)组成，音叉(3)位于管帽(8)中且与管帽(8)的内侧壁不接触，第一管脚(4)的一端与音叉基础(3-3)的末端固定连接，第二管脚(4)的一端与音叉基础(3-3)的末端固定连接，第一管脚(4)与第二管脚(5)相互平行且以音叉(3)的中心线对称，管座(6)与管帽(8)的开口端连接且使管帽(8)内形成密封的空间，管座(6)上有两个通孔，第一管脚(4)的另一端和第二管脚(5)的另一端分别穿过管座(6)上的两个通孔延伸出管帽(8)，第一管脚(4)与管座(6)上的通孔之间和第二管脚(5)与管座(6)上的通孔之间使用玻璃密封料(7)密封，第一电极(1)分布于音叉(3)的第一叉臂(3-1)的前表面、后表面和第二叉臂(3-2)的左、右侧壁，第二电极(1)分布于音叉(3)的第二叉臂(3-2)的前表面、后表面和第一叉臂(3-1)的左、右侧壁，其特征是：音叉(3)的表面开有多个孔(9)，所述多个孔(9)以音叉(3)的中心线对称分布，位于第一叉臂(3-1)表面上的孔(9)的内壁固定有金属膜，所述金属膜与第一电极(1)连接，位于所述第二叉臂(3-2)表面上的孔(9)的内壁固定有金属膜，所述金属膜与第二电极(2)连接，音叉(3)的侧壁开有多个缺口(10)，所述多个缺口(10)以音叉(3)的中心线对称，位于第一叉臂(3-1)侧壁上的缺口(10)和位于音叉基础(3-3)的左侧壁的缺口(10)的内壁均固定有金属膜，并且所述金属膜与第二电极(2)连接，位于第二叉臂(3-2)上的缺口(10)和位于音叉基础(3-3)的右侧壁上的缺口(10)的内壁均固定有金属膜，并且所述金属膜与第一电极(1)连接，音叉(3)是双转角切型的石英晶片。