[实用新型]加速度感应器的封装结构有效
申请号: | 200820095297.4 | 申请日: | 2008-07-04 |
公开(公告)号: | CN201226007Y | 公开(公告)日: | 2009-04-22 |
发明(设计)人: | 潘政民;孟珍奎 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01P15/08 | 分类号: | G01P15/08;B81B7/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518057广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型有关一种加速度感应器的封装结构,尤其关于一种微机电系统加速度感应器的封装结构,该加速度感应器的封装结构包括电路基板、与电路基板共同形成腔体的侧壁及上盖,以及收容在腔体内的微机电加速度感应单元与集成控制芯片。本实用新型加速度感应器的封装结构简单,组装方便,利于提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 加速度 感应器 封装 结构 | ||
【主权项】:
1. 一种加速度感应器的封装结构,其特征在于:该加速度感应器的封装结构包括共同形成腔体的电路基板、侧壁以及上盖,腔体内设有微机电加速度感应单元,微机电加速度感应单元通过金线与电路基板电连接。
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