[实用新型]电子束熔炼设备

摘要

本实用新型公开了一种电子束熔炼设备，该电子束熔炼设备包括有电子束系统(1)、真空系统(2)、坩埚(3)、电源系统(4)、冷却水系统(5)、保护气源(6)、支撑机架(7)、转动机构(8)、磁液体密封件(9)和空心水冷机构(10)；电子束系统(1)的电子枪(11)安装在真空系统(2)的真空室(21)的上部(25)上；真空系统(2)的真空室(21)的下部(24)与支撑机架(7)的上部(71)之间安装有磁液体密封件(9)、从动轮(83)，磁液体密封件(9)在从动轮(83)的上方；坩埚(3)置于真空室(21)内的中心位置，且坩埚(3)的底部与空心水冷机构(10)的套筒(101)连接；空心水冷机构(10)、转动机构(8)安装在支撑机架(7)上。

主权项

1、一种电子束熔炼设备，该电子束熔炼设备包括有电子束系统(1)、真空系统(2)、坩埚(3)、电源系统(4)、冷却水系统(5)、保护气源(6)、支撑机架(7)，其特征在于：还包括有转动机构(8)、磁液体密封件(9)和空心水冷机构(10)；电子束系统(1)的电子枪(11)安装在真空系统(2)的真空室(21)的上部(25)上；真空系统(2)的真空室(21)的下部(24)与支撑机架(7)的上部(71)之间安装有磁液体密封件(9)、从动轮(83)，磁液体密封件(9)在从动轮(83)的上方；坩埚(3)置于真空室(21)内的中心位置，且坩埚(3)的底部与空心水冷机构(10)的套筒(101)连接；空心水冷机构(10)、转动机构(8)安装在支撑机架(7)上；真空系统(2)的真空室(21)为双层水冷结构，内层(202)为不锈钢板，外层(201)为碳钢或不锈钢板，内层(202)与外层(201)之间为冷却水道(203)；真空室(21)的上部(25)设有安全阀(204)、A通孔(205)，A通孔(205)内安装有法兰盘(207)，电子枪(11)的套筒安装在法兰盘(207)上；真空室(21)的左端(26)设有观察窗(23)；真空室(21)的右端(27)设有进料口(22)；真空室(21)的下部(24)设有B通孔(206)，B通孔(206)内安装有磁液体密封件(9)；坩埚(3)为双层水冷梯形结构；坩埚内壁(34)与坩埚外壁(33)之间为冷却水通道(32)；坩埚(3)的底部设有接头(35)，接头(35)的中心设有C通孔(37)，C通孔(37)内安装有C滚珠轴承(38)，C滚珠轴承(38)套接在空心水冷机构(10)的套筒(101)上；坩埚(3)的坩埚熔腔(31)底部为锥形底(36)；支撑机架(7)由上支梁(71)、下支梁(72)、底座(74)构成，上支梁(71)与下支梁(72)之间设有加强筋(74)，下支梁(72)安装在底座(74)上；上支梁(71)上设有D通孔(711)、E通孔(712)，D通孔(711)内安装有A滚珠轴承(713)，E通孔(712)用于电机(81)的输出穿过；A滚珠轴承(713)套接在空心水冷机构(10)的套筒(101)上；下支梁(72)上设有F通孔(721)，F通孔(721)内安装有B滚珠轴承(722)；转动机构(8)由电机(81)、主动轮(82)、从动轮(83)和皮带(84)构成，电机(81)安装在上支梁(71)上，主动轮(82)套接在电机(81)的输出轴上，从动轮(83)安装在空心水冷机构(10)的套筒(101)上，主动轮(82)、从动轮(83)通过皮带(84)连接；磁液体密封件(9)包括法兰盘(91)、密封圈(93)，法兰盘(91)与密封圈(93)通过螺钉固定连接在一起，且法兰盘(91)的G通孔(92)与密封圈(93)的H通孔(94)对齐；密封圈(93)的上下端部安装有D滚珠轴承(95)、E滚珠轴承(96)，D滚珠轴承(95)、E滚珠轴承(96)分别套接在空心水冷机构(10)的套筒(101)上；空心水冷机构(10)为管中管结构，空心水冷机构(10)包括有套筒(101)、进水管(102)、安装座(10a)、进水接头(10b)、回水接头(10c)；安装座(10a)固定连接在底座(73)上；进水管(102)的下端设有进水接头(10b)，进水接头(10b)与进水管(51)的一端连接，进水管(51)的另一端连接在冷却水系统(5)上，实现冷却水系统(5)中的冷水注入进水通道(104)中；套筒(101)的下端设有回水接头(10c)，回水接头(10c)与回水管(52)的一端连接，回水管(52)的另一端连接在冷却水系统(5)上，实现回水通道(103)中的循环水回流至冷却水系统(5)中。