[实用新型]一种多晶硅定向长晶热场结构有效
申请号: | 200820121103.3 | 申请日: | 2008-07-04 |
公开(公告)号: | CN201217712Y | 公开(公告)日: | 2009-04-08 |
发明(设计)人: | 赵波;徐芳华;孙海梁 | 申请(专利权)人: | 绍兴县精工机电研究所有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 浙江翔隆专利事务所 | 代理人: | 戴晓翔 |
地址: | 312030浙江省绍兴县*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种多晶硅定向长晶热场结构,属太阳能多晶硅晶体的定向生长热场结构技术领域,主要由保温隔热笼体(1),置于保温隔热笼体(1)内的加热器(6)和热交换台(5),置于保温隔热笼体(1)底部可上下垂直运动的带支撑导杆(4)的保温隔热底板(2),置于保温隔热笼体(1)的侧面与热交换台(5)之间的保温隔热隔板(7)等构成;保温隔热笼体(1)和保温隔热底板(2)形成一个腔室(3),加热器(6)和保温隔热底板(2)分别由外设的控制器(8)控制。通过保温隔热笼体底部保温隔热底板的升降式结构设置,来获得多晶硅定向长晶所需要的工艺手段,在控制上更容易实现动态调整,从而最大化实现长晶速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 定向 长晶热场 结构 | ||
【主权项】:
1、一种多晶硅定向长晶热场结构,包括保温隔热笼体(1),置于保温隔热笼体(1)内的加热器(6)和热交换台(5),其特征在于保温隔热笼体(1)的底部还设有可上下垂直运动的保温隔热底板(2),保温隔热笼体(1)和保温隔热底板(2)形成一个腔室(3)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绍兴县精工机电研究所有限公司,未经绍兴县精工机电研究所有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200820121103.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。