[实用新型]工件卡具无效
| 申请号： | 200820122496.X | 申请日： | 2008-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN201313932Y | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 张云龙;徐健;程云立;承高建 | 申请（专利权）人： | 北京东方新材科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100085北京市海淀区上地*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于物理气相沉积且能更好降低工件温度的卡具，所述卡具包括金属基座、金属挡片、绝热层和安装孔，其特征在于：金属基座上设有用于装卡工件的沟槽，金属基座除沟槽以外的表面上覆盖绝热层，金属基座底部设有金属挡片，金属挡片不与工件接触的一面上设有绝热层，金属基座上设有安装孔。其中金属基座由选自铝、铜或铁的一种高比热材料组成，绝热层为玻璃纤维或耐火纤维，沟槽中的各面与工件表面紧密接触。该工件卡具优点在于基座由高比热材料组成，可以在吸收相同热量的情况下具有较低的温升。同时，金属基座上覆盖的绝热层可以更好的隔绝来自外界的热量。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 卡具 | ||
【主权项】：
1、一种工件卡具，其特征在于，用于物理气相沉积且能更好降低工件温度，该卡具包括：金属基座、金属挡片、绝热层和安装孔，金属基座上设有用于装卡工件的沟槽，金属基座除沟槽以外的表面上覆盖绝热层，金属基座底部设有金属挡片，金属挡片不与工件接触的一面上设有绝热层，金属基座上设有安装孔。
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