[实用新型]300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置

摘要

本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆、顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块和底块上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布。本实用新型适用于处理300mm硅片的立式氧化炉炉体的炉丝固定，加工工艺好。从而很好支撑了炉丝，由于炉丝固定结构科学、合理，从而延长了炉体寿命。

主权项

1、一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，其特征在于：该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆(1)、顶部绝缘子(2)、中部绝缘子(3)、底部绝缘子(4)，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块(5)和底块(5.1)上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布，顶部绝缘子的厚度及底部绝缘子的厚度在圆周上依次递增或递减，以保证炉体上下底面水平。