[实用新型]收纳柜体结构

摘要

本实用新型是有关一种容置光掩膜盒的收纳柜体结构，特别有关一种防止光掩膜盒内部在排气过程中形成负压的收纳柜体，其由一框体构成，该框体上设有至少一进气回路与一排气回路，且框体内设有一个或多数承置单元，各承置单元具有至少一连接进气回路的进气阀件及至少一连接排气回路的稳压阀件，光掩膜盒具有对应前述承置单元进气阀件与稳压阀件的气阀，其中稳压阀件的气流通道可跨设于对应气阀气流通道孔的内、外，使稳压阀件可同步吸排光掩膜盒内部空间与外部环境的气体，让收纳柜体可通过稳压阀件作用，避免光掩膜盒内部空间因排气量大于进气量而产生负压，如此可便于光掩膜盒的开启，且不致产生强力瞬间气流，可以避免气流伤及光掩膜盒内部光掩膜表面。

主权项

1、一种收纳柜体结构，其内部可供摆置一或多数供储存光掩膜的光掩膜盒，且光掩膜盒具有多个供进、排气的气阀，其特征在于该收纳柜体包含有：一框架，框架具有至少一进气回路与至少一排气回路；至少一承置单元，其设置于框架内，该承置单元上设有至少一连接前述进气回路的进气阀件与至少一连接前述排气回路的稳压阀件，其中稳压阀件具有一或多数流道孔，该稳压阀件的流道孔是跨设于光掩膜盒气阀的内、外，使得稳压阀件可同步吸排光掩膜盒容置空间与外部环境的气体。