[实用新型]鼠笼式氦质谱真空检漏仪离子源无效
| 申请号： | 200820128267.9 | 申请日： | 2008-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN201167082Y | 公开（公告）日： | 2008-12-17 |
| 发明（设计）人： | 黄庆文 | 申请（专利权）人： | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100190北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种鼠笼式氦质谱检漏仪的离子源，其中阳极5是由钼片经化学刻蚀后形成蜂窝状的网格，成圆筒状，阳极顶部与镍环6焊接，阳极的底部与圆片3焊接，最后与阳极支架点，其中网格丝的宽度是0.1mm，厚度为0.05，每个网格的距离1mm，阳极的外侧还具有灯丝4，灯丝4成圆形，灯丝4是氧化钇铱金灯丝，灯丝直径是0.08mm，绕制成圆形，圆周直径是14mm。 | ||
| 搜索关键词： | 鼠笼式氦质谱 真空 检漏 离子源 | ||
【主权项】：
1.一种鼠笼式氦质谱检漏仪的离子源，其特征在于，阳极(25)是由钼片经化学刻蚀后形成蜂窝状的网格，成圆筒状。
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