[实用新型]一种压力控制装置无效
| 申请号： | 200820133211.2 | 申请日： | 2008-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN201255840Y | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 张华 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/00 | 分类号： | G05D16/00;G05D16/14;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春媛 |
| 地址： | 215025江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种用于控制蚀刻机台内腔室压力的压力控制装置，包括：与腔室相连的压力控制阀，与压力控制阀连接的第一气动阀，连接腔室的主控制气动阀和次控制气动阀，通过第二气动阀连接腔室的气压计，上述压力控制阀与上述气压计形成信号通路，上述第一气动阀与上述主控制气动阀之间也形成有信号通路。采用本实用新型，当腔室内的气体压力发生变化时，其起伏较小，从而能更好地维持住腔室内的气体压力，减少蚀刻机因此原因而停止工作的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力 控制 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种控制腔室压力的压力控制装置，其特征在于，包括：与腔室相连的压力控制阀，与压力控制阀连接的第一气动阀，连接腔室的主控制气动阀和次控制气动阀，通过第二气动阀连接腔室的气压计，上述压力控制阀与上述气压计形成信号通路，上述第一气动阀与上述主气动阀之间也形成有信号通路。
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