[实用新型]用于直拉硅单晶炉热场系统无效

专利信息
申请号: 200820139372.2 申请日: 2008-10-30
公开(公告)号: CN201512601U 公开(公告)日: 2010-06-23
发明(设计)人: 殷国庆;吴道庆 申请(专利权)人: 常州益鑫新能源科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213200 江苏省金坛市华城*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种用于直拉硅单晶炉热场的主发热体系统,本系统包括石墨坩埚、石英坩埚、加热器、导流筒、保温筒(上、中、下)、保温盖、保温底盘、保温碳毡等,其特征在于下保温盖的上平面设置有槽,槽内设置有保温筒;在硅单晶炉的底部加厚了底部碳毡,并在底部碳毡上方压有炉底压片;在托盘的内孔内设置有连杆,在连杆和托盘相啮合的圆周上设置有销;本实用新型利用改善的炉内保温系统,有效的利用热量,缩短生产周期,从而节约了电能,降低了损耗,同时方便了维护。
搜索关键词: 用于 直拉硅单晶炉热场 系统
【主权项】:
一种用于直拉硅单晶炉热场系统包括石墨坩埚、石英坩埚、加热器、导流筒、上保温筒、中保温筒、下保温筒、保温盖、保温底盘、保温碳毡等,其特征在于下保温盖的上平面设置有槽,槽内设置有保温筒;在硅单晶炉的底部加厚了底部碳毡,并在底部碳毡上方压有炉底压片;在托盘的内孔内设置有连杆,在连杆和托盘相啮合的圆周上设置有销。
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