[实用新型]用于直拉硅单晶炉热场系统无效
申请号: | 200820139372.2 | 申请日: | 2008-10-30 |
公开(公告)号: | CN201512601U | 公开(公告)日: | 2010-06-23 |
发明(设计)人: | 殷国庆;吴道庆 | 申请(专利权)人: | 常州益鑫新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213200 江苏省金坛市华城*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于直拉硅单晶炉热场的主发热体系统,本系统包括石墨坩埚、石英坩埚、加热器、导流筒、保温筒(上、中、下)、保温盖、保温底盘、保温碳毡等,其特征在于下保温盖的上平面设置有槽,槽内设置有保温筒;在硅单晶炉的底部加厚了底部碳毡,并在底部碳毡上方压有炉底压片;在托盘的内孔内设置有连杆,在连杆和托盘相啮合的圆周上设置有销;本实用新型利用改善的炉内保温系统,有效的利用热量,缩短生产周期,从而节约了电能,降低了损耗,同时方便了维护。 | ||
搜索关键词: | 用于 直拉硅单晶炉热场 系统 | ||
【主权项】:
一种用于直拉硅单晶炉热场系统包括石墨坩埚、石英坩埚、加热器、导流筒、上保温筒、中保温筒、下保温筒、保温盖、保温底盘、保温碳毡等,其特征在于下保温盖的上平面设置有槽,槽内设置有保温筒;在硅单晶炉的底部加厚了底部碳毡,并在底部碳毡上方压有炉底压片;在托盘的内孔内设置有连杆,在连杆和托盘相啮合的圆周上设置有销。
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